端跳70納米 氣浮轉(zhuǎn)臺airUPRT系列

德瑪特氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺，采用無齒槽效應(yīng)電機芯，無軸承摩擦磨損，具備超高的速度穩(wěn)定性，納米級端徑跳。適合半導(dǎo)體行業(yè)劃片、減薄、涂膠、光刻、光學(xué)檢測等超高精度加工場景。

07月20日 轉(zhuǎn)臺 氣浮 高精度

德瑪特超?尺??浮糾偏平臺

德瑪特超大氣浮運動，臺面尺寸達到1.5m×1m，國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺之一，運動直線精度高，速度波動小，可達2m/s，重復(fù)定位精度可達±0.5um。應(yīng)用：編碼器精度誤差檢驗，大尺寸精密加工糾偏（如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備）。

12月29日

德瑪特氣浮直線平臺

德瑪特氣浮直線平臺，主要用于精密檢測，行程2米，最大速度可達2米/秒，在長行程下依然能保持高精度，重復(fù)精度達到±0.6um，使之在高精度要求的行業(yè)具有廣泛的應(yīng)用前景。例如在半導(dǎo)體行業(yè)適用于晶圓檢測；在醫(yī)療器械制造中，可以讓零部件尺寸達到非常高的精度，表面光潔度好；在航空航天領(lǐng)域，要求機床具有高速加工和高精度定位能力，以滿足輕量化和結(jié)構(gòu)優(yōu)化的需求。

10月25日 平臺 直驅(qū)

德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺

?德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺，采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機模組組成，具有良好的剛性性能以及良好的定位精度，此外還有高速度，高加速度，零背隙，使用壽命長，維護成本低等一系列優(yōu)點……

11月19日

[視頻] 德瑪特高精度直驅(qū)氣浮轉(zhuǎn)臺

在芯片等高端制造的應(yīng)用場景，少不了高精度轉(zhuǎn)臺，通過高精度定位的旋轉(zhuǎn)，來實現(xiàn)精準的檢測、加工或質(zhì)量控制。德瑪特推出全新的氣浮轉(zhuǎn)臺NXB系列，進一步拓展了產(chǎn)品的應(yīng)用場景，大幅提升了在高端智能裝備市場的競爭力。

04月23日 氣浮轉(zhuǎn)臺 直驅(qū)轉(zhuǎn)臺