半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺

由于減薄機(jī)對轉(zhuǎn)臺精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求，因此，德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為±1μm，端跳低至70納米，徑跳達(dá)到100納米，且具有超低速度波動性。此外，德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案，包含驅(qū)動器和軟件系統(tǒng)。

08月03日

高精度直驅(qū)二維轉(zhuǎn)臺解決方案 德瑪特雙臂五軸搖籃RTMD系列

德瑪特數(shù)控五軸搖籃轉(zhuǎn)臺的新應(yīng)用——高精度直驅(qū)二維轉(zhuǎn)臺，可發(fā)揮直驅(qū)搖籃全數(shù)控、高速度、大扭矩、長壽命的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的高精度追蹤和掃描。

08月02日

半導(dǎo)體精密制造檢測方案 德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺

德瑪特氣浮系列，具有高精度，高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對于旋轉(zhuǎn)類檢測，如探針臺、對位轉(zhuǎn)臺，有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺，對于直線類檢測，有氣浮直線平臺。氣浮直線平臺airDDLP系列，直線度±0.25~±4μm，重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。

08月02日

鋰電池疊片機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特直線模組LHA系列

直線模組是疊片機(jī)和切疊一體機(jī)追求高速高效率基本無法繞過的選擇，德瑪特直線模組，最高5m/s的速度，加速度最高可達(dá)到5G，精度最高可達(dá)到±1μm，長度行程可按需求定制，單模組最長可達(dá)5.7m，理論上可以拼接無限長，輕松協(xié)助實(shí)現(xiàn)最高效率疊片機(jī)和切疊一體機(jī)。

08月02日