德瑪特氣浮系列,具有高精度,高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)類檢測(cè),如探針臺(tái)、對(duì)位轉(zhuǎn)臺(tái),有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái),對(duì)于直線類檢測(cè),有氣浮直線平臺(tái)。氣浮直線平臺(tái)airDDLP系列,直線度±0.25~±4μm,重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。