半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) 由于減薄機(jī)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求,因此,德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為±1μm,端跳低至70納米,徑跳達(dá)到100納米,且具有超低速度波動(dòng)性。此外,德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案,包含驅(qū)動(dòng)器和軟件系統(tǒng)。 08月03日
半導(dǎo)體精密制造檢測方案 德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線平臺(tái) 德瑪特氣浮系列,具有高精度,高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)類檢測,如探針臺(tái)、對(duì)位轉(zhuǎn)臺(tái),有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái),對(duì)于直線類檢測,有氣浮直線平臺(tái)。氣浮直線平臺(tái)airDDLP系列,直線度±0.25~±4μm,重復(fù)精度低至±2μm。適合滿足晶圓檢測、高精度計(jì)量、X 射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。 08月02日
德瑪特超?尺??浮糾偏平臺(tái) 德瑪特超大氣浮運(yùn)動(dòng),臺(tái)面尺寸達(dá)到1.5m×1m,國內(nèi)直驅(qū)最大尺寸的糾偏平臺(tái)之一,運(yùn)動(dòng)直線精度高,速度波動(dòng)小,可達(dá)2m/s,重復(fù)定位精度可達(dá)±0.5um。應(yīng)用:編碼器精度誤差檢驗(yàn),大尺寸精密加工糾偏(如半導(dǎo)體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設(shè)備)。 12月29日
德瑪特?zé)o槽DD馬達(dá),高精度無齒槽效應(yīng) 采用德瑪特?zé)o槽直驅(qū)電機(jī)技術(shù)設(shè)計(jì),無齒槽效應(yīng),“無”轉(zhuǎn)矩脈動(dòng),可以實(shí)現(xiàn)極其平滑的速度控制。 可以實(shí)現(xiàn)高精度和高重復(fù)精度的位置控制;無框設(shè)計(jì),高功率密度,占用空間更??;大通孔便于通過電纜、光學(xué)器件、感測技術(shù)及其他系統(tǒng)元件…… 11月19日
德瑪特直驅(qū)XY加工平臺(tái) 德瑪特直驅(qū)XY加工平臺(tái),在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件,其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺(tái),且無摩擦,可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度的快速加工。 11月19日
德瑪特高精度直驅(qū)XY氣浮平臺(tái) ?德瑪特雙導(dǎo)軌XY直線模組平臺(tái),采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機(jī)模組組成,具有良好的剛性性能以及良好的定位精度,此外還有高速度,高加速度,零背隙,使用壽命長,維護(hù)成本低等一系列優(yōu)點(diǎn)…… 11月19日
德瑪特高動(dòng)態(tài)響應(yīng)直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)HD140 德瑪特直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)HD140具有高精度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的特點(diǎn),適合高加工精度、高加工速度、小角度分度需求的場景,高度模塊化設(shè)計(jì),維護(hù)簡單,穩(wěn)定性強(qiáng)。 11月10日