德瑪特雙導軌XY直線模組平臺,采用德瑪特高精度無鐵芯直線電機模組組成,氣浮軌道使之擁有更高的精度和更平滑的位移,此外它還具有良好的剛性性能以及良好的定位精度,此外還有高速度,高加速度,零背隙,使用壽命長,維護成本低等一系列優(yōu)點。

德瑪特直驅(qū)XY平臺,高速度、高精度、高動態(tài)響應,適合各種高精度平米平面?zhèn)鲃?,如芯片制造業(yè),精密檢測等。
產(chǎn)品視頻


技術(shù)參數(shù)


規(guī)格參數(shù)

單位

數(shù)值

行程

mm

220×250(設(shè)計行程范圍:800

直線度

μm

±0.5

平面度

μm

3

垂直度

μm

±2

精度

μm

±0.5

重復精度

μm

±0.4

最大速度

m/s

2

水平負載

Kg

100