在這個(gè)高科技日新月異的時(shí)代，半導(dǎo)體行業(yè)的高性能裝備對(duì)傳動(dòng)系統(tǒng)的要求愈發(fā)嚴(yán)苛：既需要強(qiáng)勁的轉(zhuǎn)矩,又需要精準(zhǔn)的定位；既要高速運(yùn)轉(zhuǎn),又要低噪音靜音；既要耐久穩(wěn)定,又要無需維護(hù)......

然而，常規(guī)馬達(dá)早已難以滿足種種新要求。此時(shí)，更為先進(jìn)的直驅(qū)電機(jī)（直線電機(jī)與DD馬達(dá)）應(yīng)運(yùn)而生——

采用德瑪特直驅(qū)技術(shù)，高速高精度；部分采用磁懸浮，穩(wěn)定靜音；采用封閉環(huán)控制,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)最高可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)反饋；無需傳動(dòng)，維護(hù)成本低；采用全定制設(shè)計(jì)，完美匹配您的裝備。

德瑪特有多款直驅(qū)產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

德瑪特?zé)o鐵芯直線電機(jī)DU系列

?高速度、高動(dòng)態(tài)響應(yīng)
?無齒槽效應(yīng)，速度波動(dòng)小，穩(wěn)定性更高
?精度高
?安裝尺寸小，溫升低

德瑪特DU系列無鐵芯直線電機(jī)，通過高精度運(yùn)動(dòng)控制解決方案，在半導(dǎo)體晶圓劃片、離子注入等工藝流程有出色的表現(xiàn)。

德瑪特?槽DD?達(dá)S系列

適用于各類高精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

德瑪特高精度端面電機(jī)NXA系列

德瑪特端面電機(jī)NXA160，響應(yīng)快，μm級(jí)高精度，可用于半導(dǎo)體和激光制造中精準(zhǔn)對(duì)位。

技術(shù)參數(shù)：

德瑪特高速響應(yīng)轉(zhuǎn)臺(tái)HD系列

德瑪特轉(zhuǎn)臺(tái)HD140，具有高轉(zhuǎn)動(dòng)慣量，適?于?精度?速度分度應(yīng)?， 如芯?分揀機(jī)、精密檢測(cè)儀器等。

應(yīng)用場(chǎng)景：

德瑪特直線執(zhí)行器DO系列

德瑪特直線執(zhí)行器DO系列，小行程，高速度，高加速度，與德瑪特高響應(yīng)轉(zhuǎn)臺(tái)配合，加入取放模塊可以進(jìn)行高速的分揀作業(yè)，或裝配工藝流程。

德瑪特超高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

超精密納米級(jí)氣浮平臺(tái)在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用非常重要，如在半導(dǎo)體后段封測(cè)的核心設(shè)備固晶機(jī)、焊線機(jī)和磨片機(jī)上，都需要高速高精的運(yùn)動(dòng)控制核心技術(shù)平臺(tái)，在包括運(yùn)動(dòng)控制、伺服驅(qū)動(dòng)、直線電機(jī)和視覺系統(tǒng)的整個(gè)底層核心技術(shù)平臺(tái)的基礎(chǔ)上，才能開發(fā)出固晶、焊線、先進(jìn)封裝等全系列設(shè)備。

德瑪特雙導(dǎo)軌XY氣浮平臺(tái)

德瑪特雙導(dǎo)軌氣浮平臺(tái)，采?德瑪特?精度?鐵芯直線電機(jī)模組組成，大理石平臺(tái)為底座，安裝精度高，維護(hù)方便。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

德瑪特大理石氣浮平臺(tái)

德瑪特大理石氣浮平臺(tái)，采?德瑪特?精度?鐵芯直線電機(jī)模組，大理石基座，精度高，響應(yīng)快，可用做半導(dǎo)體行業(yè)高精度檢測(cè)平臺(tái)。

技術(shù)參數(shù)：