德瑪特超大氣浮運動,臺面尺寸達到1.5m×1m,國內直驅最大尺寸的糾偏平臺之一,運動直線精度高,速度波動小,可達2m/s,重復定位精度可達±0.5um。

應用:編碼器精度誤差檢驗,大尺寸精密加工糾偏(如半導體晶圓、大尺寸顯示屏等制造設備)。

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技術參數:

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