半導(dǎo)體晶圓減薄機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特控制系統(tǒng)+氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) 由于減薄機(jī)對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)精度、速度穩(wěn)定性、端徑跳都提出了極高要求,因此,德瑪特氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)airUPRT成為上佳之選。airUPRT轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為±1μm,端跳低至70納米,徑跳達(dá)到100納米,且具有超低速度波動(dòng)性。此外,德瑪特還提供全套的減薄機(jī)系統(tǒng)解決方案,包含驅(qū)動(dòng)器和軟件系統(tǒng)。 08月03日
高精度直驅(qū)二維轉(zhuǎn)臺(tái)解決方案 德瑪特雙臂五軸搖籃RTMD系列 德瑪特?cái)?shù)控五軸搖籃轉(zhuǎn)臺(tái)的新應(yīng)用——高精度直驅(qū)二維轉(zhuǎn)臺(tái),可發(fā)揮直驅(qū)搖籃全數(shù)控、高速度、大扭矩、長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的高精度追蹤和掃描。 08月02日
半導(dǎo)體精密制造檢測(cè)方案 德瑪特氣浮旋轉(zhuǎn)和直線(xiàn)平臺(tái) 德瑪特氣浮系列,具有高精度,高穩(wěn)定性特點(diǎn)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)類(lèi)檢測(cè),如探針臺(tái)、對(duì)位轉(zhuǎn)臺(tái),有氣浮旋轉(zhuǎn)平臺(tái),對(duì)于直線(xiàn)類(lèi)檢測(cè),有氣浮直線(xiàn)平臺(tái)。氣浮直線(xiàn)平臺(tái)airDDLP系列,直線(xiàn)度±0.25~±4μm,重復(fù)精度低至±2μm。適合滿(mǎn)足晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X 射線(xiàn)衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及 MEMS/納米技術(shù)器件制造的嚴(yán)格要求。 08月02日
鋰電池疊片機(jī)直驅(qū)方案 德瑪特直線(xiàn)模組LHA系列 直線(xiàn)模組是疊片機(jī)和切疊一體機(jī)追求高速高效率基本無(wú)法繞過(guò)的選擇,德瑪特直線(xiàn)模組,最高5m/s的速度,加速度最高可達(dá)到5G,精度最高可達(dá)到±1μm,長(zhǎng)度行程可按需求定制,單模組最長(zhǎng)可達(dá)5.7m,理論上可以拼接無(wú)限長(zhǎng),輕松協(xié)助實(shí)現(xiàn)最高效率疊片機(jī)和切疊一體機(jī)。 08月02日